洁净室的管线非常复杂,所以对这些管线均采用隐蔽组织方式。具体隐蔽组织方式有以下几种。

1、技术夹层

(1)顶部技术夹层。在这种夹层内般因送、回风管的断面最大,故作为夹层内首先考虑的对象。一般将其安排在上方,其下安排电气管线。当这种夹层的底板可承受一定重量时,可以在上面设置过滤器及排风设备等。

(2)房间技术夹层。这种方式和只有顶部夹层相比,可以减少夹层的布线与高度,可以省去回风管道返回上夹层所夹道。在下夹道内还可设回风机动力设备配电等,某层洁净室的上夹道可以兼做上一层的下夹道

2、技术夹道(墙)

上下夹层内的水平管线一般都要转向为竖向管线,这此竖向管线所在的隐蔽空间即技术夹道。技术夹道还可以放置洁净室内的一些辅助设备,甚至还可以作为般回风管道或静压箱,有的可安设光管型散热器。这类技术夹道(墙）由于大多采用轻质隔断,所以当工艺调整时,可方便地进行调整。